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中国智造行业品牌厂家
善准仪器

PDC系列

Harrick Plasma等离子清洗机

美国Harrick公司PLASMA等离子清洗机是全球等离子品牌，具有腔体低温，石英玻璃，频率13.56MHz，气体流量混合仪，真空泵可选油泵和干泵，质量稳定，功能和应用广泛的特点，PDC系列等离子清洗机中有三个型号，分别对应不同的客户需求，适用于科研和企业的等离子清洗效果。
harrick plasma真空等离子处理仪
气体流量控制混合仪
气体混合仪
各路气体和混合气体流量的精准控制，
舱内压力的实时监控。
可支持两路气体输入
流量计A：49 mL/min（最大气体流量）
流量计B：104mL/min（最大气体流量）
控制精度：±2%（满量程）
热偶真空计和数显表（量程范围：1~9999mTorr）；
输入输出端口：0.25英寸，不锈钢材质
技术规格

型号

PDC-32G-2

PDC-002

PDC-002-HP

舱体大小

直径3x深6.5英寸圆柱体舱 (76mmx165mm)

直径6x深6.5英寸圆柱体舱 (152mmx165mm)

舱体材质

标配为派瑞克斯玻璃舱；可选配高纯度石英舱

常用气体

空气，氧气，氢气，氩气，氮气和其他混合气体

气路控制

标配一路气体；可选配多路气体混合计量控制

射频频率

13.56 MHz

射频档位

低档：680V/10mA/6.8W

中档：700V/15mA/10.5W

高档：720V/25mA/18W

低档：716V/10mA/7.16W

中档：720V/15mA/10.15W

高档：740V/40mA/29.60W

低档：716V/10mA/30W

中档：720V/15mA/38W

高档：740V/40mA/45W

输入功率

100 W

200 W

电源

220 V/50Hz

真空泵选配说明

项目

PDC-VPE-2 高级油泵

PDC-OPE-2 高级干泵

（适用于氧气等活性气体）

抽气速率

5.1 m³/hr

3.6 m³/hr

极限真空（气阀关闭时）

7.5 mTorr

100 mTorr

极限真空（气阀开放时）

150 mTorr

263 mTorr

真空润滑油

PDC-VPE-Oil

无需配备

订购信息

名称

数量

备注

等离子清洗机

1套

圆柱形真空腔体

托盘

1个

扩展型石英托盘

油性真空泵

1台

选配，可用于压缩空气和氮气

无油真空泵

1台

选配，可用于压缩空气、氮气和氧气

气体流量控制混合仪

1台

选配

用户成果摘录
成果2
成果3
成果1
成果4
成果2




期刊名称：Chemical Engineering

期刊名称：Journal 

影响因子：15.1

中科院分区：一区

善准品牌：SUNJUNE

用户单位：烟台大学

处理材料：PDMS、聚氨酯TPU、SEBS

期刊名称：ADVANCED FUNCTIONAL

期刊名称：MATERIALS（AFM） 

影响因子：19.2

中科院分区：一区

善准品牌：SUNJUNE PLASMA

用户单位：中国科学院北京纳米能源

用户单位：与系统研究所

处理材料：导电碳布（织物）

期刊名称：NATURE 

影响因子：64.8

中科院分区：一区

善准品牌：SUNJUNE PLASMA

用户单位：西湖大学

处理材料：氩等离子体处理二氧化硅(等离子处理过程不接触空气)

期刊名称：Science China 

期刊名称：Materials 

影响因子：8.1

中科院分区：一区

善准品牌：SUNJUNE PLASMA

用户单位：华南理工大学

处理材料：ITO(氧化铟锡) 

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