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中国智造行业品牌厂家
善准仪器

VP-A系列

全自动真空等离子处理仪

全自动
旋转型真空等离子处理仪

  VP-A系列全自动真空等离子处理仪是善准等离子体技术的“集大成者”，将等离子处理工艺优化的“颗粒度”提高到了全新的水平，为高质量、高水平的生产和研究提供了有力支撑。

  VP-A系列全自动真空等离子处理仪有四个参数可以优化：处理时间、通入气体的流量、通入气体的种类和功率；VP-A系列处理时间可精确到秒，气体流量精度可控制在±1%，流量0-300sccm中任选并可在触摸屏选择20种气体，几乎覆盖了所有等离子处理工艺所需的气体，功率大小可调节，提供三档或无极连续调节，使等离子处理工艺的可靠性、重复性、精细化都获得了极大提升。

  VP-A系列全自动真空等离子处理仪提供三个标准型号：VP-A5（石英腔体)、VP-A6(不锈钢腔体)、VP-A7(旋转型，可处理块体样品和粉末样品)。

旋转

等离子体

频率13.56MHz

气体

种类可选

气体质量

流量数字控制

产品特性

BB设计理念

操作简易

中英文操作系统，触摸屏控制，界面智能化设计，避免误操作，气体流量数字控制，腔体真空度数字显示

一种旋转型不锈钢等离子表面处理装置 专利号：CN211295034U

真空等离子处理仪控制软件著作权：2021SR1026389

等离子体处理仪

手机和平板可远程查看产品信息

功率连续或高、中、低三挡可调

转速0-30r/min可调、可停止，一机两用（VP-A7）

清洗强度实时显示

真空泵和主机联动，整机安静，噪音和油气污染少

真空腔体石英玻璃或不锈钢材质

频率13.56MHz，物理清洁、刻蚀，化学改性、活化俱佳

全自动真空等离子处理仪的研制成功，开创等离子体技术发展

01
Better Reliability，Better Operation
微小颗粒、粉末样品PLASMA处理不充分，不均匀的解决方案
内置两路MFC气路，气体流量数字控制0-300sccm可调
专利控制软件、操作简易，智能化设计，避免误操作
真空传感器，触摸屏实时观察腔体压力变化情况
中英文操作系统，触摸屏控制，人机界面友好
中文简易操作
触摸屏控制
清洗时长可在触摸屏设置，等离子处理时间精确到秒（s）
PLASMA处理结束，自动泄压，泄压时长和大小可调，可通入氮气泄压
功率高、中、低三挡可调（VP-A5）或连续调节（VP-A7、VP-A6）
02
配置气体流量质量器，等离子工艺优化颗粒度更高
腔体温度小于32℃
VP-R3与国际一线品牌比对试验
旋转等离子体
碳黑处理
配置两路气体质量流量控制器0-300sccm可调，精度±1%
自动化触摸屏控制，专利软件，操作简易
腔体低温，满功率运行30分钟腔体温度小于32°C（VP-A5）
VP-A系列推出三个型号，常规型或旋转型
腔体旋转从而带动样品翻滚，使样品处理更全面、更均匀（VP-A7）
腔体转速可调，可停止，停止时相当于常规等离子处理仪，一机两用，性价比高（VP-A7）
03
细节把控，给用户更好体验
配备高精度泄压阀，泄压时长、速度可调，确保小颗粒或粉末样品不被吹散
真空泵
石英玻璃腔体
配备的双级旋片真空泵噪音和油气污染小，真空度高
真空泵与主机联动，可在触摸屏控制真空泵开启/关闭
2米不锈钢波纹管，比橡胶管更耐用，密封性更好
1.5米不锈钢波纹管
OF-25油污过滤器
安捷伦Agilent干泵（选配），避免油气污染
OF-20油污过滤器（选配），避免排气口油气对实验室环境的污染
04
经典清洗案例分析
石墨烯粉末清洗、改性，去除粉末杂质和油质增加石墨烯表面亲水基团（-OH）提高亲水性
石墨烯粉末等离子清洗
金属油污等离子清洗
PDMS材料等离子活化
胶体粉末
石墨烯粉末
合金粉末
碳黑、硼粉、铝粉改性、还原
提升胶粉、铁铝粉、纳米碳粉亲水性和分散性
PDMS等离子清洗，改变表面活性，实现PDMS与PDMS、玻璃键合
聚乙二醇粉末、蜡基温拌添加剂粉末处理
催化剂粉末、金属氧化物粉末PLASMA处理
提升碳纳米管亲水性、分散性等离子处理视频
提升碳黑粉末亲水性、分散性等离子处理视频（请联系在线工程师）
05
石墨烯粉末VP-A7亲水性处理XPS谱图分析
处理前石墨烯粉末溶于蒸馏水时，会粘在玻璃壁上
处理后
处理后石墨烯粉末上下摇匀后，不会粘在玻璃瓶壁
处理前石墨烯粉末很快下沉到玻璃瓶底，肉眼可见中间透明
处理后石墨烯粉末悬浮在水体，说明其亲水性增强
绿色曲线为处理前的XPS谱图，曲线一直都是平稳走向

红色曲线为处理后的XPS谱图，曲线在285eV左右有个峰值，

可知石墨烯粉末的性质已改变

处理前
处理后
处理前
处理后可提高40%导热性能和提高石墨烯的稳定性
石墨烯用于第三代半导体封装散热管理的研究（联系工程师）
06
橡胶粉VP-A7旋转型真空等离子处理仪案例分析
真空泵
橡胶粉等离子体处理前（如图左），大部分黑色橡胶粉漂浮在水体上面，与水体有明显的分层，样品难溶于水
橡胶粉等离子体处理后（如图右），大部分黑色橡胶粉溶于水中，且悬浮在水体中，说明样品亲水性明显提升
橡胶粉等离子体处理后（如图右），经玻璃棒搅拌，整个烧杯水体变成黑色，橡胶粉均匀铺满整个烧杯中，且粉末没有团聚，说明样品分散性明显提升
对比橡胶粉等离子体处理前后的结果可知，VP-A7旋转型真空等离子处理仪处理橡胶粉能明显提升其亲水性和分散性
处理后
处理前
橡胶粉VP-A7旋转型真空等离子处理仪案例视频
07
合金粉末VP-A7旋转型真空等离子处理仪案例分析
合金粉末等离子体处理前（如图左），灰色合金粉末部分沉入水底，部分粉末漂浮在水面上，说明合金粉末难溶于水
再仔细观察可以发现，合金粉末等离子体处理前（如图左），沉入水底的合金粉末结成块状，团聚在一起，且烧杯内壁也沾满了粉末
合金粉末等离子处理后（如图右），烧杯内壁没有沾上合金粉末，粉末悬浮于水中或分散均匀沉于水底，没有形成团聚性，说明提升了亲水性，且底部没有形成块状的，说明提升样品的分散性
对比合金粉末等离子体处理前后的结果可知，VP-A7旋转型真空等离子处理仪处理合金粉末可以提升样品的亲水性和分散性
处理后
处理前
合金粉末VP-A7旋转型真空等离子处理仪处理案例视频
技术规格

型号

VP-A5

VP-A6

VP-A7

腔体材质

石英玻璃

不锈钢

不锈钢和石英

腔体容量

5L

6L

7L

内腔尺寸

Φ150x270Lmm

250x160x160LxWxHmm

250x160x190LxWxHmm

腔体转速

——

0-30r/min可调

射频功率

200W

500W

功率调节

高、中、低三挡可调

连续调节

射频频率

13.56MHz

RF放射

无

频率偏移量

小于0.2KHz

等离子体激发

触摸屏一键自动启动

等离子体轰击

从四周向中间

从上往下

腔体内温度

满功率运行30分钟腔体温度＜32℃ 

满功率运行3分钟腔体温度<45°C

清洗时间

0 - 1800S 可调

显示屏

5寸触摸屏

操作控制

触摸屏控制（设置清洗时间，时间精确到秒，设置气体流量，0-300sccm可调），并提供中英文两种操作界面

质量流量控制器

提供2路气体质量流量控制器（MFC），可选配耐腐蚀类型

气体流量控制

数字化控制，0-300sccm 可调

流量控制器响应时间

<100ms

气体流量读取精度

±1%

可控制气体种类

内置20种气体控制并可在触摸屏上选对应的气体种类（常用气体：氩气、氮气、氢气、氧气、甲烷、氨气、四氟化碳、八氟环丁烷等）

记忆功能

操作系统自动记录上次一次处理参数——气体流量和处理时间设定值，再次使用只需点击触摸屏上“启动”即可开始与上一次一样PLASMA处理，操作简单

真空度

配置数字真空传感器，真空度触摸屏数字显示，实时观察腔体内真空度

进气管

两根6x4 PU管，尾端配6转6快拧接头

泄压

等离子处理结束，自动泄压，泄压时长和速度可调。可提供氮气或其他气体泄压通道（选配）

真空泵极限真空度

5x10⁻²Pa

抽真空时间

启动到发出辉光≤50秒（时间可调）

真空检测

触摸屏数字显示

泄漏检测

触摸屏上有一键泄漏检测功能

冷却方式

风冷

腔体门

带可视窗高强度铝合金，并在触摸屏上自动识别开/关

真空泵控制

主机与真空泵自动联动并可在触摸屏上控制真空泵开启/关闭

供电电源

AC220V/50Hz

箱体平衡

减震橡胶脚杯

质保期

主机2年，真空泵1年

机箱尺寸(LxWxH)

560x450x360mm

560x450x390mm

订购信息

标准配置

主机、双级旋片真空泵、2米波纹管、清洗托盘、说明书、合格证、保修卡、两路进气管

选配件

1、安捷伦干式真空泵，防止油气挥发（高洁净实验室适用），2、OF-20油污过滤器，3、大于两路气体质量

流量控制器（MFC）可定制，4、真空腔体大于7L可定制，5、分子泵机组MPU-990i（高真空等离子体）

用户成果摘录
成果2
成果1
成果4
成果3
成果2




期刊名称：Energy & Environmental 

期刊名称：Science 

影响因子：34.5

中科院分区：一区

善准品牌：SUNJUNE PLASMA

用户单位：中国科学院北京纳米能源

用户单位：与系统研究所

处理材料：棉纺纤维

期刊名称：Chemical Engineering

期刊名称：Journal 

影响因子：15.1

中科院分区：一区

善准品牌：SUNJUNE

用户单位：烟台大学

处理材料：PDMS、聚氨酯TPU、SEBS

期刊名称：Science China 

期刊名称：Materials 

影响因子：8.1

中科院分区：一区

善准品牌：SUNJUNE PLASMA

用户单位：华南理工大学

处理材料：ITO(氧化铟锡) 

期刊名称：Nature 

影响因子：64.8

中科院分区：一区

善准品牌：SUNJUNE PLASMA

用户单位：西湖大学

处理材料：氩等离子体处理二氧化硅(等离子处理过程不接触空气)

典型用户

东华大学
中科院新疆理化所
电子科技大学
中山大学
昆明理工大学
国防科技大学
知识产权声明
善准科技SUNJUNE的产品功能、设计、外观均已取得国家专利（包括但不限于本网站所刊载的图片、视频、案例等）均属于我司的知识产权，任何组织和个人未经我司书面许可不能抄袭、使用，如有侵犯，我司将依法取证并追究法律责任。
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